SF6氣體回收凈化裝置是用于SF6氣體絕緣電器設備的制造廠，使用運行科研等部門, 對各種電器設備進行抽真空，對電器設備充入SF6氣體，并從使用或試驗的電器中回收SF6氣體,同時進行凈化處理壓縮貯存到貯罐。
SF6氣體回收凈化充放裝置適用SF6開關電器及GIS組合電器等。SF6氣體回收凈化裝置按照DL/T662-1999《六氟化硫充氣及回收裝置》標準，采用*新SF6回收凈化技術,裝置由回收系統、充氣系統、抽真空系統、凈化系統、氣體貯存系統組成。
主要優點：
（1）設計先進，功能齊全，結構合理，自動控制。
（2）壓縮系統：采用SF6無油封閉高壓壓縮機，無泄漏。
（3）抽真空系統采用雙級旋片式真空泵，在系統中設有自動防止返回油裝置。
（4）凈化系統采用日本CKD公司原理過濾器，過濾器采用電加熱及內裝高效吸附劑，提純凈化效果更顯著，能高效去除空氣CF4等 (無需頻繁更換吸附劑)。
（5）裝置電氣系統三相電源自動確認、斷相自動保護。
（6）裝置控制系統采用*新技術的SF6專用閥門
（7）貯存系統按用戶要求配置250KG貯液罐。
（8）設備采用移動式。
主要技術性能指標
（1）型式：移動式、壓力式
（2）工作原理
a、使用壓縮機高壓—冷凝液化SF6氣體。氣液態凈化。
b、干燥器輔助氣體回收和回充。
c、充氣時經緩沖氣化充入（可加熱）。
（3）工作環境溫度： -10℃（-30可選）--- +40℃
（4）主要性能及技術參數
1、裝置極限真空度<10Pa
2、裝置抽真空速率55--110m3/h (真空泵極限真空度小于0.06Pa)
3、裝置充氣初壓力<133 Pa(用戶要求自定)
4、裝置充氣終壓力≤0.8M Pa
5、裝置充氣速率>20m3/h
6、裝置回收初壓力≤0.8M Pa
7、裝置回收終壓力<5000Pa
8、裝置回收壓縮機速率20m3/h
9、裝置年泄漏率<1%
10、裝置貯罐*高設計壓力4.5M Pa
11、貯罐容積250KG（含 充氣加熱/ 液位顯示）
12、外形尺寸約1850mm×1200mm×1700mm
13、貯存方式：液態、氣態
14、噪聲≤75dB聲壓級
15、干燥過濾器再生方式：真空再生加熱活化處理
16、電源：交流三相380V±10%、50HZ
17、裝置總功率<16KW
18、裝置重量：1180公斤
19、凈化：微水10PPm，油份5PPm，微塵≤1微米
20、回收氣體符合IEC60376、IEC60480 標準。（氣源需較好 ）
凈化提純后的SF6氣體應達到IEC標準。見《IEC60376》，《IEC60480》
指標名稱
指標
四氟化碳（CF4）
≤0.05%
空氣（N2+O2）
≤0.05%
濕度（H2O）
≤8μg/g
酸度（以HF計）
≤0.2μg/g
可水解氟化物（以HF計）
≤1.0μg/g
礦物油
≤5μg/g
純度（SF6）
≥99.6%(質量分數)
生物毒性
無毒